Semiconductor 검사기
Semiconductor 검사기
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Wafer Ink Marking
Wafer의 불량 Chip부에 자동으로 Ink Marking을 하는 장비 균일한 Ink Dot Marking가능, Ink Dot Size 125um~700um까지 가변 가능, Ink 교환시 최대 2~3분 소요로 생산성 향상. Dotting된 Ink의 위치 및 크기를 Vision으로 검사
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CIS 검사기
Color Filter 및 Micro Lens 공정 진행 시 발생하는 각종 얼룩성 불량 (흑선, 흑점, 백점 등)을 광학계를 이용하여 검출하는 장비로 Micro Lens 공정에서 발생하는 Defocus 검출할 수 있는 장비입니다.
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Pad 검사기 (Automatic Probe Checker)
Electric 특성을 평가하기 위한 Pad 부에 Probing 된 Probe 자국을 광학계를 통해 Inspection 하고 Probe 이상 여부를 자동으로 검출 Probe Card Align 상태 또는 각 Probe의 상태를 자동적으로 분석, 동시에 Pad 주변부의 Particle을 검사 ,Fuse 이미지를 분석하여 정확하게 Repair가 되었는지를 검출하는 장비입니다.