Semiconductor 검사기
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Semiconductor 검사기
Wafer Ink Marking
Wafer의 불량 Chip부에 자동으로 Ink Marking을 하는 장비
균일한 Ink Dot Marking가능, Ink Dot Size 125um~700um까지 가변 가능, Ink 교환시 최대 2~3분 소요로 생산성 향상.
Dotting된 Ink의 위치 및 크기를 Vision으로 검사
■ 시스템 사양
| Item | Specification | ||
| Pre Align | Camera | acA1300-60gm : 5.3um(1,282 X 1026 Pixel) | |
| Lens | X0.2 | ||
| Resolution | 26.5um | ||
| DOF | 3mm | ||
| FOV | 33.9mm X 27.1mm | ||
| W.D | 120 ± 3mm | ||
| 적용 조명 | 동축 조명 | ||
| Review & Inspection | Camera | acA640-120gm : 5.6um(659 X 494 Pixel) | |
| Lens | X0.8 | ||
| Resolution | 7um | ||
| DOF | 1.4mm | ||
| FOV | 4.6mm X 3.4mm | ||
| W.D | 108 ± 3mm | ||
| 적용 조명 | Side 면 조명 | ||
■ 검사기능 및 검출 영상
- 검사 기능
-Inking 유/무
-Position&Size(면적)
- 검출 영상