Semiconductor 검사기
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Semiconductor 검사기
CIS 검사기
Color Filter 및 Micro Lens 공정 진행 시 발생하는 각종 얼룩성 불량 (흑선, 흑점, 백점 등)을 광학계를 이용하여 검출하는 장비로 Micro Lens 공정에서 발생하는 Defocus 검출할 수 있는 장비입니다.
■ 시스템 사양
| Item | Specification | |||||
| Vision Part | Inspection | Camera | TDI Scan Camera : 12 K | |||
| Pixel Size : 5.2 um | ||||||
| Illuminator | 동축 조명 Dome 조명 |
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| Lens | Micro Lens(X5) | |||||
| Review & Align | Review | WDI ATF | ||||
| Micro Lens(X1, X20, X50) | ||||||
| 동축 조명 | ||||||
| Align | Auto- Align | |||||
| System Part | Net work | TCP/IP | ||||
| RS/232 | ||||||
| Utility | Electrical | 단상 208V ± 10%, 30A, 6.2 KW | ||||
| Pneumatic | 5kg/cm2 Clean Dry Air | |||||
| Chip 선별 방식 | Map & Inking | |||||
| Hardware Part | Wafer size | 200mm & 300mm (8" & 12") | ||||
| Wafer Handling | Loading : Auto Loading to Wafer Chuck | |||||
| Unloading : Auto Unloading from Wafer Chuck | ||||||
| XYZ-Stage | X-Axis | Y-Axis | Z-Axis | |||
| Flatness | ±10um | ±10um | ±3um | |||
| Accuracy | ±2um | ±2um | ±5um | |||
| Repeatability | ±1um | ±1um | ±3um | |||
| Wafer Align | Method | Auto- Align | +Vision Type | |||
| Rotation | ±5º | |||||
| Cleanness | HAPA Filter 적용( 0.3 um) | |||||
| Dimension (W x D x H) | 1,780mm x 1,320mm x 2,170mm | |||||
■ 검출 불량 대표 Image