전체 제품
-
-
FPD 검사기
ELA Auto Macro
본 장비는 OLED 제조 공정 중 ELA 공정 후에 위치하여 결정화 상태에 따른 얼룩 불량을 Vision을 통해 촬영 검사하는 설비입니다.
■ 시스템 사양
| 검출 Defect | ELA Mura |
| Glass Size | 세대별 Glass대응 가능 |
| Camera/Lens | Line Scan Camera /가변 Lens |
| 해상도 | 100um~200um(요구사양에 맞게 대응) |
| 조명 | LED bar 조명 |
■ 시스템 특징
- Stand alone Type의 ELA 전용 검사 설비
- ELA 공정 검사에 최적화된 광학구조 적용
- Line Scan Camera를 이용하여 Glass 전면 촬영 및 검사 진행
- 결정화도에 따른 표면 Roughness차이를 얼룩으로 구분
■ 적용분야
- OLED BP Process _ ELA 공정
■ 촬영 영상