FPD 검사기
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FPD 검사기
AOI
본 장비는 Panel 제조 공정중 발생하는 particle, Pin hole, Chip등 의 원인에 의해 발생하는 불량을 Vision을 통해 검사하도록 개발되었습니다.
■ 시스템 사양
| 검출 Defect | Particles, Chips, Defects, Mura |
| Glass Size | 세대별 전체 Glass 대응 가능 |
| Camera/Lens | TDI Line scan / 가변 Lens |
| 해상도 | ~ 10um / Pixel (제품에 따라 변경 가능) |
| 조명 | LED bar Type |
■ 시스템 특징
- 고속 Line Scan Camera를 이용한 고해상도 영상 취득
- Air Floating Stage 적용으로 반송 안정성 확보
- Inline / Stand Alone 등 다양한 형태로 대응
■ 적용분야
- LCD 제조공정 : TFT, CF, P.I 등
- OLED 제조공정 : BP, EVEN, TSP(OCTA), CF 등
■ 검출불량 대표 Image