전체 제품
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Wafer Ink Marking
Wafer의 불량 Chip부에 자동으로 Ink Marking을 하는 장비 균일한 Ink Dot Marking가능, Ink Dot Size 125um~700um까지 가변 가능, Ink 교환시 최대 2~3분 소요로 생산성 향상. Dotting된 Ink의 위치 및 크기를 Vision으로 검사
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AOI
본 장비는 Panel 제조 공정중 발생하는 particle, Pin hole, Chip등 의 원인에 의해 발생하는 불량을 Vision을 통해 검사하도록 개발되었습니다.
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BP Macro AOI
본 장비는 OLED 제조 공정 중 Photo, 세정, P.I 인쇄 등 다양한 공정에서 발생하는 얼룩불량을 검사하는 장비로 엔지온 시스템만의 독특한 광학계를 이용하여 미약한 얼룩을 검출 / 분류할 수 있는 설비입니다.
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ELA Auto Macro
본 장비는 OLED 제조 공정 중 ELA 공정 후에 위치하여 결정화 상태에 따른 얼룩 불량을 Vision을 통해 촬영 검사하는 설비입니다.
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CF Auto Macro
본 장비는 OLED 제조 공정 중 Color Filter 공정 후에 위치하여 코팅에 따른 얼룩 및 이물 불량을 검출하는 Inline설비입니다.
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Mura 검사기( In-Line)
본 장비는 실제 생산 라인 대응을 통해 얻어진 Know-how를 바탕으로 P.I 인쇄 공정 완료 후 세정 공정으로 진행하는 Glass의 Mura(Stain) 불량을 검출하는 장비로 사용자의 편의성을 고려하여 신속 정확한 설치 및 검사가 가능하도록 In-Line 대응에 최적화된 Module Type으로 제작된 장비입니다.
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Chip / Crack 검사기
장비는 실제 생산 라인 대응을 통해 얻어진 Know-how를 바탕으로 모든 LCD / OLED 공정의 중간 또는 최종단에 설치하여 물류상의 Glass에 형성된 Crack, Chip, Broken 등을 검출하는 장비로 사용자의 편의성을 고려하여 신속 정확한 설치 및 검사가 가능하도록 In-Line 대응에 최적화된 Module Type으로 제작된 장비입니다.
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OTFT Inspection System
본 장비는 고 해상도의 Line Scan Camera 와 Review Camera 를 이용하여 Glass 의 불량을 검출 하는 Full Auto System 장비입니다
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점등검사_Cell (In-Line)
본 장비는 실제 생산 라인 대응을 통해 얻어진 Know-how를 바탕으로 LCD / OLED의 점등상태에서 정형계 불량, MURA 불량을 육안 및 Vision system으로 검출 가능하도록 제작된 장비입니다.