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FPD 검사기
OTFT Inspection System
본 장비는 고 해상도의 Line Scan Camera 와 Review Camera 를 이용하여 Glass 의
불량을 검출 하는 Full Auto System 장비입니다
■ 시스템 사양
| Item | Specification | ||
| AOI | Inspection Camera | 12K TDI Line Scan Camera, CCD : 5um, 200KHz | |
| Inspection Lens | X2~X5 가변 렌즈 | ||
| 해상도(FOV) | 1um ~ 2.5um (FOV 12mm ~ 30mm) | ||
| Glass Size | Gen2.5 (370mm X 470mm) | ||
| 적용 조명 | Bar Type(W), Coaxial Type(R,G,B,W), BackLight((W) | 고휘도 LED | |
| Review | Review Camera | 5M Color Area Camera, CMOS : 5um | |
| Review Lens | X2, X5, X10, X20, X50 (M Plan Apo) | ||
| Review 해상도(FOV) | X10 기준 : 0.5um (1.28 X 1.02mm) | ||
| Review 조명 | White LED | 고휘도 LED | |
| CD & Overlay | 정밀도 | 3σ ≤ ±0.1um (X50 기준) / 3σ ≤ ±0.25um (X20 기준) | |
| Defect | 검출 Defect | Patterning Defect, Particle, Short, Damage to metal | |
■ 시스템 특징
- 고속 Line Scan Camera를 이용한 고해상도 영상 취득
- Air Floating Stage 적용으로 반송 안정성 확보
- Inline / Stand Alone 등 다양한 형태로 대응
■ 적용 분야
- Oxide TFT
■ 검출 불량 대표 Image
| No | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 |
| Pattern有 | |||||
| No | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 |
| Pattern无 | |||||