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FPD 검사기
CF Auto Macro
본 장비는 OLED 제조 공정 중 Color Filter 공정 후에 위치하여 코팅에 따른 얼룩 및 이물 불량을 검출하는 Inline설비입니다.
■ 시스템 사양
| 검출 Defect | Coating Mura (R, G, B, BM) |
| Glass Size | 세대별 Glass대응 가능 |
| Camera/Lens | Line Scan Camera /가변 Lens |
| 해상도 | 100um ~ 200um / Pixel(요구사양에 맞게 대응) |
| 조명 | LED bar 조명( 2 Color) |
■ 시스템 특징
- Inline 형태의 광학 검사장비
- Dual 광학계를 이용한 다양한 공정 적용 _ R, G, B, BM, OC 등
- 얼룩의 시인성을 향상시킨 독창적인 광학구조 적용
- 구동형 광학계를 이용한 최적 검사 조건 구현
■ 적용분야
- LCD, OLED CF 공정
■ 검출불량 대표 Image