전체 제품
-
-
FPD 검사기
BP Macro AOI
본 장비는 OLED 제조 공정 중 Photo, 세정, P.I 인쇄 등 다양한 공정에서 발생하는 얼룩불량을 검사하는 장비로 엔지온 시스템만의 독특한 광학계를 이용하여 미약한 얼룩을 검출 / 분류할 수 있는 설비입니다.
■ 시스템 사양
| 검출 Defect | Mura(원형,가로,세로,사선 Mura검출가능) |
| Glass Size | 세대별 Glass대응 가능 |
| Camera/Lens | Line Scan Camera /가변 Lens |
| 해상도 | 100um~200um(요구사양에 맞게 대응) |
| 조명 | LED bar 조명 |
■ 시스템 특징
- Inline / Stand Alone 등 다양한 형태로 대응
- Air Floating Stage 적용으로 반송 안정성 확보
- 카메라 및 조명의 광학 조건(각도와 높이)자동 설정 기능
- 얼룩의 시인성을 향상시킨 독창적인 광학구조 적용
- A.I 기반의 자동 분류 및 Auto Recipe SW 탑재
■ 적용분야
- LCD 제조공정 : TFT, CF, P.I 등
- OLED 제조공정 : BP, EVEN, TSP(OCTA), CF 등
■ 검출불량 대표 Image