产品简介
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FPD 检查设备
ELA Auto Macro
本设备位于OLED制造工艺中ELA工艺后，根据结晶状态的Mura不良，通过Vision进行拍摄检查的设备。
■ 设备规格
| 检出 Defect | ELA Mura |
| Glass Size | 可对应世代别Glass |
| Camera/Lens | Line Scan Camera / 可变 Lens |
| 分辨率 | 100um~200um(可根据规格变更) |
| 照明 | LED bar Type |
■ 设备特征
Stand Alone Type的ELA专用检查设备
适用ELA工艺检查最佳光学结构
利用Line Scan Camera 拍摄Glass全面并进行检查
根据结晶状态的表面Roughness差异来区分Mura
■ 适用领域
OLED BP Process_ELA工艺
■ 拍摄影像